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  • 資訊詳情
    在線(xiàn)式真空等離子清洗設備寒武紀等離子電池粘膠表面活化
    發(fā)布者:  發(fā)布時(shí)間:2024-03-25 15:13:00

    設備簡(jiǎn)介:CPT真空式等離子處理設備可選擇搭配中頻或射頻電源,全自動(dòng)控制運行系統,工藝過(guò)程參數可監測控制。廣泛應用于各大行業(yè)加工制造過(guò)程中基材表面的預處理,提升基材表面的粘接力、增加表面活性和表面微量有機物的去除等,以滿(mǎn)足后續工藝的功能要求和提升產(chǎn)品制造良率及質(zhì)量。
    應用領(lǐng)域:適用半導體、汽車(chē)制造、新能源、醫療器械、3C產(chǎn)品、電子線(xiàn)路板、印染紡織、印刷打印、軍工等廣泛領(lǐng)域。
    設備工作原理:當chamber內部之壓力低到某一程度(約10-1 torr左右)時(shí), 氣態(tài)正離子開(kāi)始往負電極移動(dòng), 由于受電場(chǎng)作用會(huì )加速撞擊負電極板, 產(chǎn)生電極板表面原子, 雜質(zhì)分子和離子以及二次電子(e-)…等, 此e-又會(huì )受電場(chǎng)作用往正電極方向移動(dòng), 于移動(dòng)過(guò)程會(huì )撞擊chamber內之氣體分子(ex. : Ar原子…等), 產(chǎn)生Ar+等氣態(tài)正離子, 此Ar+再受電場(chǎng)的作用去撞擊負電極板, 又再產(chǎn)生表面原子以及二次電子(e-)…等, 如此周而復始之作用即為Plasma產(chǎn)生的原理.

    工作原理:真空等離子清洗機利用兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng),使用真空泵工作實(shí)現有效的真空度,隨氣體越來(lái)越稀薄,分子之間的間距及分子或離子的自由運動(dòng)的距離也越來(lái)越長(cháng),受磁場(chǎng)作用發(fā)生碰撞而形成等離子體并產(chǎn)生輝光,等離子體在電磁場(chǎng)內的空間運動(dòng),不斷轟擊物體表面,去除表面有機污染物或其它雜質(zhì),從而達到表面處理清洗,活化,刻蝕的效果。

    適用產(chǎn)品形狀復雜、處理面較大,可選擇兩路或多路工藝氣體,適用各種不同材質(zhì)材料,匹配高密度等離子源,確保產(chǎn)品360度均勻清洗活化,UPH較高,且是環(huán)保工藝方式。

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    企業(yè)信息
    寒武紀技術(shù)(蘇州)有限公司
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